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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-833HG
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南京易鳴銷售日本CANON真空計(jì)、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證!
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示：
特長(zhǎng):
ワイドな圧力測(cè)定範(fàn)囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測(cè)定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號(hào)出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時(shí)のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能
特長(zhǎng):
豊富な外部制御機(jī)能により完全な遠(yuǎn)隔操作が可能
セットポイントを2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備
最大4ヶのオプションボード取付け可能で機(jī)能拡張性が充実
（注記：GP-IBオプションには未対応）
RoHS、CEマーキングに対応
用途:
自動(dòng)化真空裝置の圧力計(jì)測(cè)
スパッタなどのプロセス圧力の測(cè)定、制御
マルチチャンバシステムでの圧力測(cè)定
一般真空裝置の圧力測(cè)定
規(guī)格尺寸：
型 名 M-833HG
測(cè)定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範(fàn)囲 0.1×10-7～9.9×100Pa
圧力表示 測(cè)定レンジ自動(dòng)切換
セットポイント 2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備（オープンコレクタ）
D/A出力 0～10V：仮數(shù)部出力、指數(shù)部出力
0～11V：複合出力又はLOG出力
アナログ出力 APCモード設(shè)定時(shí)（0.1～2.5V）
（エレクトロメータ出力） ノーマルモード設(shè)定時(shí)（0.1～1.6V）
INPUT フィラメントON/OFF
外部制御機(jī)能 デガスON/OFF
（リモート操作） 等6種類の外部制御機(jī)能
OUTPUT 6種類のステータス信號(hào)出力
特殊機(jī)能 APC対応：レンジホールド機(jī)能
エレクトロメータ出力機(jī)能
寸法/質(zhì)量 H99×W209×D330、1.9kg
所要電力 100～240VAC
100VA以下、50／60Hz
エミッション電流 10μA、100μA、1mA自動(dòng)切換設(shè)定又は固定設(shè)定
ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護(hù) オーバーレンジ設(shè)定値又はエミッション電流±50%の変動(dòng)
標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成 真空計(jì)本體（測(cè)定球及びケーブルは構(gòu)成品に含まれません）
RoHS，CEマーキング 対応
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